تنظيف الأشعة فوق البنفسجية 

يعد التنظيف عملية مهمة في عملية تصنيع LCD ، ويؤثر تأثير التنظيف بشكل مباشر على جودة المنتجات وخدمة المنتجات. طرق التنظيف: بالإضافة إلى التنظيف التقليدي للتنظيف وتنظيف الهواء ، يتم استخدام تنظيف الأشعة فوق البنفسجية للأشعة فوق البنفسجية في العديد من العمليات.

مبدأ العمل في تقنية تنظيف الأشعة فوق البنفسجية: تستخدم هذه الطريقة أكسدة الصور للمركبات العضوية لإزالة المواد العضوية الملتصقة من الأسطح المادية ، وتحقيق "النظافة على المستوى الذري" من خلال التصوير الفوتوغرافي الضوئي. على وجه التحديد ، تنبعث مصادر ضوء الأشعة فوق البنفسجية فوتونات عند 185 نانومتر و 254 نانومتر ، والتي تحمل طاقة عالية. عندما تضرب هذه الفوتونات سطح المواد المراد تنظيفها ، تمتص معظم الهيدروكربونات ضوء الأشعة فوق البنفسجية 185nm بكفاءة ملحوظة. ثم تتحلل الطاقة الممتصة إلى أيونات وذرات حرة وجزيئات متحمسة ونيوترونات-وهي عملية تُعرف باسم أكسدة الصور. في وقت واحد ، تمتص جزيئات الأكسجين في الهواء ضوء الأشعة فوق البنفسجية 185nm وتوليد الأوزون والأكسجين الذري. يعرض الأوزون امتصاصًا قويًا لضوء الأشعة فوق البنفسجية 254nm ويتحقق إلى الأكسجين الذري وغاز الأكسجين. يسهل الأكسجين الذري التفاعلي للغاية تحلل بقايا الكربون والهيدروكربون على الأسطح ، وتحويلها إلى غازات متطايرة مثل ثاني أكسيد الكربون وبخار الماء الذي يهرب من سطح المادة. هذه الآلية تلغي بدقة الملوثات الكربونية والعضوية التي تلتقي بسطح المادة.

أثناء التنظيف ، يتم تحسين قابلية ركيزة الركيزة. يتم نقل الركائز الزجاجية باستخدام بكرات في حين أن مصباح الزئبق منخفض الضغط أعلاه يولد تشعيع الأشعة فوق البنفسجية (UV). كلما زادت طاقة الأشعة فوق البنفسجية المتراكمة بواسطة الركيزة الزجاجية ، كلما أصبح ملامس الماء السطحي أصغر - هذا يتبع علاقة عكسية. في عمليات تصنيع TN-LCD/STN-LCD/VA-LCD ، يتجاوز تراكم الطاقة للأشعة فوق البنفسجية المطلوبة للركائز الزجاجية 300MJ/CM2 (253.7nm). بالنسبة لإنتاج TFT-LCD ، إلى جانب تنظيف الأوزون باستخدام مصابيح الزئبق منخفضة الضغط ، تستخدم العملية التيار السائدة مصابيح Excimer. يوفر ضوء الأشعة فوق البنفسجية عالية التفاعل عند طول الموجة 172nm كفاءة تنظيف فائقة للركائز الزجاجية.

ميزات تنظيف الأشعة فوق البنفسجية:
1) إنها طريقة خالية من الاتصال يمكن تنفيذها في الهواء ولا تحتاج إلى تجفيفها بعد التنظيف.
2 ، يمكن أن تزيل بالكامل الملوثات الكربونية والعضوية على سطح الكائنات.
3. تطهير خالية من المذيبات والتخلص من مذيبات النفايات.
4. ضمان الموثوقية العالية والعائد العالي من المنتجات.
5. توحيد علاج تنظيف السطح متسق.
ملاحظة: نظرًا لأن تنظيف الضوء هو إزالة المركبات الكربونية والعضوية على سطح الكائنات من خلال تفاعلات الحساسية والأكسدة ، يجب عدم استخدام طريقة تنظيف الضوء للأسطح عرضة للأكسدة. إنه مناسب فقط لتنظيف الأوساخ السطحية ، ولكن ليس لتنظيف الأوساخ غير العضوية مع المزيد من الأوساخ.

تنظيف الأشعة فوق البنفسجية مناسب للمواد بما في ذلك زجاج ITO والزجاج البصري وألواح الكروم وألواح القناع والأسطح المعدنية مع أفلام الأكسيد التي تتطلب التنظيف الدقيق. هذه العملية تزيل بشكل فعال مختلف الملوثات مثل البقايا العضوية ، الزهم البشري ، زيوت مستحضرات التجميل ، إضافات الراتنج ، البوليميدات ، شمع البارافين ، الورد ، مواد التشحيم ، ومقاوم الضوء المتبقي.
علاوة على ذلك ، تُظهر مصادر ضوء الأشعة فوق البنفسجية في تصنيع شاشة LCD قدرات تعديل سطح الأشعة فوق البنفسجية. في الوقت الحالي ، يتم استخدامها في المقام الأول في تقنيات معالجة الأفلام لتعزيز التصاق بين الأفلام بين المكونات مثل أفلام ITO وطبقات لاصقة حساسة ، بالإضافة إلى الطلاء العلوي وطلاء البوليميد (PI). قبل ربط الرقاقة في منتجات COG ، يلزم أيضًا تنظيف الأشعة فوق البنفسجية على أسطح الترابط لتحسين قوة التصاق والاستقرار الهيكلي.
مع متطلبات الجودة المتزايدة لمنتجات LCD ، تعمل صناعة LCD على تحسين متطلبات عملية التصنيع باستمرار. وفقًا للطلب على "إذا كنت ترغب في القيام بعمل جيد ، فيجب عليك أولاً شحذ أدواتك" ، ستستمر معدات تنظيف الأشعة فوق البنفسجية ، وهي أداة رئيسية في تصنيع LCD ، في ضمان جودة منتجات LCD.