Neteja de llum ultraviolada 

La neteja és un procés important en el procés de fabricació de LCD i l’efecte de la neteja afecta directament la qualitat i la vida útil dels productes. Mètodes de neteja: A més de la neteja i neteja d’aire a base d’aigua convencionals, la neteja ultraviolada UV també s’utilitza en molts processos.

El principi de treball de la tecnologia de neteja UV: aquest mètode utilitza la foto-oxidació de compostos orgànics per eliminar substàncies orgàniques adherides de les superfícies materials, aconseguint “neteja a nivell atòmic” mitjançant la fotolitografia. Concretament, les fonts de llum ultraviolades emeten fotons a longituds d'ona de 185nm i 254nm, que aporten energia alta. Quan aquests fotons colpegen la superfície de materials a netejar, la majoria dels hidrocarburs absorbeixen la llum UV de 185nm amb una eficiència notable. L’energia absorbida després es descompon en ions, àtoms lliures, molècules excitades i neutrons, un procés conegut com a foto-oxidació. Simultàniament, les molècules d’oxigen a l’aire absorbeixen la llum UV de 185nm i generen ozó i oxigen atòmic. L’ozó presenta una forta absorció de la llum UV de 254 nm i es descompon a l’oxigen atòmic i al gas d’oxigen. L’oxigen atòmic altament reactiu facilita la descomposició de residus de carboni i hidrocarburs en superfícies, convertint -les en gasos volàtils com el diòxid de carboni i el vapor d’aigua que s’escapen de la superfície del material. Aquest mecanisme elimina a fons els contaminants de carboni i orgànics que s’adhereixen a la superfície del material.

Durant la neteja, la humectació del substrat s’optimitza. Els substrats de vidre es transmeten mitjançant rodets mentre que una làmpada de mercuri de baixa pressió a sobre genera irradiació ultraviolada (UV). Com més energia ultraviolada acumulada pel substrat de vidre, més petita és el contacte amb aigües superficials: això segueix una relació inversa. En els processos de fabricació TN-LCD/STN-LCD/VA-LCD, l’acumulació d’energia UV requerida per als substrats de vidre supera els 300MJ/CM2 (253,7NM). Per a la producció de TFT-LCD, a més de la neteja d’ozó mitjançant làmpades de mercuri de baixa pressió, el procés actual principal utilitza làmpades d’excimer. La seva llum UV d’alta reactivitat a la longitud d’ona de 172Nm proporciona una eficiència de neteja superior per als substrats de vidre.

Característiques de neteja de llum UV:
1) És un mètode sense contacte que es pot dur a terme a l'aire i no cal que s'assequi després de la neteja.
2, pot eliminar completament el carboni i els contaminants orgànics a la superfície dels objectes.
3. Volatilització lliure de dissolvents i eliminació dels dissolvents de residus.
4. Garantir una alta fiabilitat i un alt rendiment de productes.
5. La uniformitat del tractament de neteja de superfícies és consistent.
Nota: Atès que la neteja de la llum és eliminar els compostos orgànics de carboni i orgànics a la superfície dels objectes mitjançant reaccions fotosensibles i d’oxidació, el mètode de neteja de llum no s’ha d’utilitzar per a superfícies propenses a l’oxidació. Només és adequat per netejar la brutícia de la superfície, però no per netejar la brutícia inorgànica amb més brutícia.

La neteja UV és adequada per a materials que inclouen vidre ITO, vidre òptic, plaques de crom, plaques de màscara i superfícies metàl·liques amb pel·lícules d’òxid que requereixen una neteja de precisió. Aquest procés elimina efectivament diversos contaminants com ara residus orgànics, sèu humà, olis cosmètics, additius de resina, polimides, cera de parafina, rosina, lubricants i fotoresist residual.
A més, les fonts de llum UV en la fabricació de LCD demostren capacitats de modificació de la superfície UV. Actualment, s’utilitzen principalment en tecnologies de processament de pel·lícules per millorar l’adhesió entre pel·lícules entre components com ara pel·lícules ITO i capes d’adhesiu fotosensibles, així com recobriments superiors i recobriments de polimida (PI). Abans de l’enllaç de xip en productes COG, també es requereix una neteja de llum ultraviolada a les superfícies d’enllaç per millorar la força d’adhesió i l’estabilitat estructural.
Amb els creixents requisits de qualitat dels productes LCD, la indústria LCD ha millorat contínuament els requisits per al procés de fabricació. D’acord amb la demanda de “Si voleu fer una bona feina, primer heu d’afilar les vostres eines”, els equips de neteja de llum UV, una eina clau en la fabricació de LCD, continuarà garantint la qualitat dels productes LCD.