Limpeza lixeira UV 

A limpeza é un proceso importante no proceso de fabricación de LCD, e o efecto da limpeza afecta directamente á calidade e á vida útil dos produtos. Métodos de limpeza: ademais da limpeza convencional de limpeza e limpeza de aire, a limpeza ultravioleta UV tamén se usa en moitos procesos.

O principio de traballo da tecnoloxía de limpeza UV: Este método utiliza a foto-oxidación de compostos orgánicos para eliminar as substancias orgánicas adheridas das superficies dos materiais, logrando a "limpeza a nivel atómico" mediante fotolitografía. En concreto, as fontes de luz UV emiten fotóns a 185 nm e lonxitudes de onda de 254 nm, que levan alta enerxía. Cando estes fotóns golpean a superficie dos materiais a limpar, a maioría dos hidrocarburos absorben a luz UV de 185 nm cunha notable eficiencia. A enerxía absorbida logo descompón en ións, átomos libres, moléculas excitadas e neutrones-un proceso coñecido como foto-oxidación. Simultaneamente, as moléculas de osíxeno no aire absorben luz UV de 185 nm e xeran ozono e osíxeno atómico. O ozono presenta unha forte absorción de luz UV de 254 nm e descomponse aínda máis en osíxeno atómico e gas de osíxeno. O osíxeno atómico altamente reactivo facilita a descomposición de residuos de carbono e hidrocarburos en superficies, converténdoas en gases volátiles como o dióxido de carbono e o vapor de auga que escapan da superficie do material. Este mecanismo elimina a fondo os contaminantes de carbono e orgánicos que se adhiren á superficie do material.

Durante a limpeza, a humedibilidade do substrato está optimizada. Os substratos de vidro son transmitidos usando rolos mentres que unha lámpada de mercurio de baixa presión xera irradiación ultravioleta (UV). Canto máis enerxía ultravioleta acumulada polo substrato de vidro, máis pequeno se fai o seu contacto de auga superficial - isto segue unha relación inversa. Nos procesos de fabricación TN-LCD/STN-LCD/VA-LCD, a acumulación de enerxía UV requirida para substratos de vidro supera os 300MJ/CM2 (253.7NM). Para a produción de TFT-LCD, ademais da limpeza de ozono empregando lámpadas de mercurio de baixa presión, o proceso de corrente principal emprega lámpadas excimer. A súa luz UV de alta reactividade na lonxitude de onda de 172 nm ofrece unha eficiencia de limpeza superior para os substratos de vidro.

Características da limpeza lixeira UV:
1) É un método sen contacto que se pode realizar no aire e non é necesario secar despois da limpeza.
2, pode eliminar completamente os contaminantes de carbono e orgánico na superficie dos obxectos.
3. Volatilización e eliminación sen disolventes de disolventes de residuos.
4. Asegúrese de alta fiabilidade e alto rendemento de produtos.
5. A uniformidade do tratamento de limpeza superficial é consistente.
Nota: Dado que a limpeza lixeira é eliminar compostos de carbono e orgánicos na superficie dos obxectos mediante reaccións fotosensibles e de oxidación, o método de limpeza lixeira non se debe usar para superficies propensas á oxidación. Só é adecuado para limpar a sucidade superficial, pero non para limpar a suciedade inorgánica con máis lixo.

A limpeza UV é adecuada para materiais, incluíndo vidro Ito, vidro óptico, placas de cromo, placas de máscara e superficies metálicas con películas de óxido que requiren unha limpeza de precisión. Este proceso elimina eficazmente diversos contaminantes como residuos orgánicos, sebo humano, aceites cosméticos, aditivos de resina, polimidas, cera de parafina, rosina, lubricantes e fotorresistas residuais.
Ademais, as fontes de luz UV na fabricación de LCD demostran as capacidades de modificación da superficie UV. Actualmente, son empregados principalmente en tecnoloxías de procesamento de películas para mellorar a adhesión entre cine entre compoñentes como películas ITO e capas adhesivas fotosensibles, así como revestimentos superiores e revestimentos de polimida (PI). Antes da unión de chip en produtos COG, tamén se precisa unha limpeza lixeira UV nas superficies de unión para mellorar a resistencia á adhesión e a estabilidade estrutural.
Co aumento dos requisitos de calidade dos produtos LCD, a industria LCD vén mellorando continuamente os requisitos para o proceso de fabricación. De acordo coa demanda de "se queres facer un bo traballo, primeiro debes afiar as túas ferramentas", o equipo de limpeza lixeira UV, unha ferramenta clave na fabricación de LCD, seguirá garantindo a calidade dos produtos LCD.