2025-08-28
A limpeza é um processo importante no processo de fabricação do LCD, e o efeito da limpeza afeta diretamente a qualidade e a vida útil dos produtos. Métodos de limpeza: Além da limpeza e limpeza de ar convencionais à base de água, a limpeza ultravioleta UV também é usada em muitos processos.
O princípio de trabalho da tecnologia de limpeza UV: este método utiliza a foto-oxidação de compostos orgânicos para remover substâncias orgânicas aderidas das superfícies materiais, alcançando a "limpeza de nível atômico" através da fotolitografia. Especificamente, as fontes de luz UV emitem fótons em comprimentos de onda de 185Nm e 254nm, que carregam alta energia. Quando esses fótons atingem a superfície dos materiais a serem limpos, a maioria dos hidrocarbonetos absorve a luz UV de 185nm com notável eficiência. A energia absorvida se decompõe em íons, átomos livres, moléculas excitadas e nêutrons-um processo conhecido como foto-oxidação. Simultaneamente, as moléculas de oxigênio no ar absorvem a luz UV de 185nm e geram ozônio e oxigênio atômico. O ozônio exibe forte absorção de luz UV de 254nm e se decompõe ainda em oxigênio atômico e gás oxigênio. O oxigênio atômico altamente reativo facilita a decomposição de resíduos de carbono e hidrocarboneto em superfícies, convertendo -os em gases voláteis como dióxido de carbono e vapor de água que escapam da superfície do material. Esse mecanismo elimina completamente os contaminantes orgânicos e de carbono que aderem à superfície do material.
Durante a limpeza, a molhabilidade do substrato é otimizada. Os substratos de vidro são transmitidos usando rolos, enquanto uma lâmpada de mercúrio de baixa pressão gera irradiação ultravioleta (UV). Quanto mais energia UV acumulada pelo substrato de vidro, menor o seu contato com a água superficial - segue um relacionamento inverso. Nos processos de fabricação TN-LCD/STN-LCD/VA-LCD, o acúmulo de energia UV necessário para substratos de vidro excede 300mj/cm2 (253,7nm). Para a produção de TFT-LCD, além da limpeza de ozônio usando lâmpadas de mercúrio de baixa pressão, o processo de corrente convencional emprega lâmpadas de excimer. Sua luz UV de alta reatividade no comprimento de onda de 172nm oferece eficiência de limpeza superior para substratos de vidro.
Recursos da limpeza de luz UV:
1) É um método sem contato que pode ser realizado no ar e não precisa ser seco após a limpeza.
2, pode remover completamente o carbono e os poluentes orgânicos na superfície dos objetos.
3. Volatilização livre de solventes e descarte de solventes de resíduos.
4. Garanta alta confiabilidade e alto rendimento de produtos.
5. A uniformidade do tratamento de limpeza de superfície é consistente.
Nota: Como a limpeza da luz é remover compostos de carbono e orgânicos na superfície dos objetos através de reações fotossensíveis e de oxidação, o método de limpeza de luz não deve ser usado para superfícies propensas à oxidação. É adequado apenas para limpar a sujeira da superfície, mas não para limpar a sujeira inorgânica com mais sujeira.
A limpeza de UV é adequada para materiais, incluindo vidro ITO, vidro óptico, placas de cromo, placas de máscara e superfícies de metal com filmes de óxido que requerem limpeza de precisão. Esse processo remove efetivamente vários contaminantes, como resíduos orgânicos, sebo humano, óleos cosméticos, aditivos de resina, poliimidas, cera de parafina, resina, lubrificantes e fotorresístas residuais.
Além disso, as fontes de luz UV na fabricação de LCD demonstram recursos de modificação da superfície UV. Atualmente, eles são empregados principalmente em tecnologias de processamento de filmes para aprimorar a adesão entre filmes entre componentes como filmes ITO e camadas adesivas fotossensíveis, além de revestimentos superiores e revestimentos de poliimida (PI). Antes da ligação do chip em produtos de COG, a limpeza da luz UV também é necessária nas superfícies de ligação para melhorar a força da adesão e a estabilidade estrutural.
Com os crescentes requisitos de qualidade dos produtos LCD, a indústria de LCD tem melhorado continuamente os requisitos para o processo de fabricação. De acordo com a demanda de “Se você deseja fazer um bom trabalho, primeiro afie suas ferramentas”, o equipamento de limpeza de luz UV, uma ferramenta -chave na fabricação de LCD, continuará a garantir a qualidade dos produtos LCD.