2025-08-28
Curățarea este un proces important în procesul de fabricație al LCD, iar efectul curățării afectează în mod direct calitatea și durata de viață a produselor. Metode de curățare: Pe lângă curățarea convențională pe bază de apă și curățarea aerului, curățarea ultravioletelor UV este utilizată și în multe procese.
Principiul de lucru al tehnologiei de curățare UV: Această metodă utilizează foto-oxidarea compușilor organici pentru a elimina substanțele organice aderente de pe suprafețele materiale, obținând „curățenia la nivel atomic” prin fotolitografie. Mai exact, sursele de lumină UV emit fotoni la lungimi de undă de 185 nm și 254 nm, care poartă energie ridicată. Când acești fotoni lovesc suprafața materialelor care trebuie curățate, majoritatea hidrocarburilor absoarbe lumina UV de 185 nm cu o eficiență remarcabilă. Energia absorbită se descompune apoi în ioni, atomi liberi, molecule excitate și neutroni-un proces cunoscut sub numele de foto-oxidare. Simultan, moleculele de oxigen în aer absoarbe lumina UV de 185 nm și generează ozon și oxigen atomic. Ozonul prezintă o absorbție puternică a luminii UV de 254 nm și se descompune în continuare în oxigenul atomic și gazul de oxigen. Oxigenul atomic extrem de reactiv facilitează descompunerea reziduurilor de carbon și hidrocarburi pe suprafețe, transformându -le în gaze volatile precum dioxidul de carbon și vaporii de apă care scapă de pe suprafața materialului. Acest mecanism elimină în detaliu contaminanții de carbon și organici care aderă la suprafața materialului.
În timpul curățării, umectabilitatea substratului este optimizată. Substraturile de sticlă sunt transmise folosind role, în timp ce o lampă de mercur de joasă presiune de mai sus generează iradiere ultravioletă (UV). Cu cât este mai mare energie UV acumulată de substratul de sticlă, cu atât este mai mică contactul său de apă de suprafață - aceasta urmează o relație inversă. În procesele de fabricație TN-LCD/STN-LCD/VA-LCD, acumularea de energie UV necesară pentru substraturile de sticlă depășește 300mJ/cm2 (253.7nm). Pentru producția TFT-LCD, pe lângă curățarea ozonului folosind lămpi de mercur de joasă presiune, procesul curent de curent folosește lămpi excimer. Lumina lor UV cu reactivitate ridicată la 172nm lungime de undă oferă o eficiență superioară de curățare pentru substraturile de sticlă.
Caracteristici de curățare a luminii UV:
1) Este o metodă fără contact care poate fi efectuată în aer și nu trebuie să fie uscată după curățare.
2, poate îndepărta complet poluanții de carbon și organici de pe suprafața obiectelor.
3. Volatilizarea fără solvent și eliminarea solvenților deșeuri.
4. Asigurați o fiabilitate ridicată și un randament ridicat de produse.
5. Uniformitatea tratamentului de curățare a suprafeței este consecventă.
Notă: Deoarece curățarea luminii este de a îndepărta compușii de carbon și organici de pe suprafața obiectelor prin reacții fotosensibile și de oxidare, metoda de curățare a luminii nu trebuie utilizată pentru suprafețele predispuse la oxidare. Este potrivit doar pentru curățarea murdăriei suprafeței, dar nu pentru curățarea murdăriei anorganice cu mai multă murdărie.
Curățarea UV este potrivită pentru materiale, inclusiv sticlă ITO, sticlă optică, plăci de crom, plăci de mască și suprafețe metalice cu pelicule de oxid care necesită curățare cu precizie. Acest proces elimină în mod eficient diverși contaminanți, cum ar fi reziduuri organice, sebum uman, uleiuri cosmetice, aditivi de rășină, polimide, ceară de parafină, roșie, lubrifianți și fotorezist rezidual.
Mai mult, sursele de lumină UV în fabricarea LCD demonstrează capacități de modificare a suprafeței UV. În prezent, acestea sunt utilizate în principal în tehnologiile de procesare a filmului pentru a îmbunătăți aderența inter-film între componente precum filmele ITO și straturile de adeziv fotosensibil, precum și acoperirile de top și acoperirile de polimidă (PI). Înainte de legarea cipurilor în produsele COG, este necesară curățarea luminii UV pe suprafețele de lipire pentru a îmbunătăți rezistența la aderență și stabilitatea structurală.
Odată cu creșterea cerințelor de calitate ale produselor LCD, industria LCD a îmbunătățit continuu cerințele procesului de fabricație. În conformitate cu cererea de „Dacă doriți să faceți o treabă bună, mai întâi trebuie să vă ascuțiți instrumentele”, echipamentul de curățare a luminii UV, un instrument cheie în fabricarea LCD, va continua să garanteze calitatea produselor LCD.