புற ஊதா ஒளி சுத்தம் 

எல்.சி.டி.யின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் சுத்தம் செய்வது ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாகும், மேலும் சுத்தம் செய்வதன் விளைவு தயாரிப்புகளின் தரம் மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை நேரடியாக பாதிக்கிறது. துப்புரவு முறைகள்: வழக்கமான நீர் அடிப்படையிலான துப்புரவு மற்றும் காற்று சுத்தம் செய்வதோடு கூடுதலாக, புற ஊதா புற ஊதா சுத்தம் பல செயல்முறைகளிலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

புற ஊதா துப்புரவு தொழில்நுட்பத்தின் பணிபுரியும் கொள்கை: இந்த முறை கரிம சேர்மங்களின் புகைப்பட-ஆக்ஸிஜனேற்றத்தை பொருள் மேற்பரப்புகளிலிருந்து கடைபிடித்த கரிமப் பொருட்களை அகற்ற பயன்படுத்துகிறது, ஒளிச்சேர்க்கை மூலம் “அணு-நிலை தூய்மையை” அடைகிறது. குறிப்பாக, புற ஊதா ஒளி மூலங்கள் 185nm மற்றும் 254nm அலைநீளங்களில் ஃபோட்டான்களை வெளியிடுகின்றன, அவை அதிக ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளன. இந்த ஃபோட்டான்கள் சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டிய பொருட்களின் மேற்பரப்பைத் தாக்கும்போது, ​​பெரும்பாலான ஹைட்ரோகார்பன்கள் 185nm புற ஊதா ஒளியை குறிப்பிடத்தக்க செயல்திறனுடன் உறிஞ்சுகின்றன. உறிஞ்சப்பட்ட ஆற்றல் பின்னர் அயனிகள், இலவச அணுக்கள், உற்சாகமான மூலக்கூறுகள் மற்றும் நியூட்ரான்களாக சிதைகிறது-இது புகைப்பட-ஆக்ஸிஜனேற்றம் என அழைக்கப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், காற்றில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் மூலக்கூறுகள் 185nm புற ஊதா ஒளியை உறிஞ்சி ஓசோன் மற்றும் அணு ஆக்ஸிஜனை உருவாக்குகின்றன. ஓசோன் 254 என்எம் புற ஊதா ஒளியின் வலுவான உறிஞ்சுதலை வெளிப்படுத்துகிறது மற்றும் மேலும் அணு ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் வாயுவாக உடைகிறது. அதிக எதிர்வினை அணு ஆக்ஸிஜன் மேற்பரப்புகளில் கார்பன் மற்றும் ஹைட்ரோகார்பன் எச்சங்களின் சிதைவை எளிதாக்குகிறது, அவற்றை கார்பன் டை ஆக்சைடு மற்றும் பொருள் மேற்பரப்பில் இருந்து தப்பிக்கும் நீர் நீராவி போன்ற கொந்தளிப்பான வாயுக்களாக மாற்றுகிறது. இந்த வழிமுறை பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒட்டிய கார்பன் மற்றும் கரிம அசுத்தங்களை முழுமையாக நீக்குகிறது.

சுத்தம் செய்யும் போது, ​​அடி மூலக்கூறின் ஈரப்பதம் உகந்ததாக இருக்கும். கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகள் உருளைகளைப் பயன்படுத்தி தெரிவிக்கப்படுகின்றன, அதே நேரத்தில் மேலே குறைந்த அழுத்த மெர்குரி விளக்கு புற ஊதா (புற ஊதா) கதிர்வீச்சை உருவாக்குகிறது. கண்ணாடி அடி மூலக்கூறால் குவிக்கப்பட்ட அதிக புற ஊதா ஆற்றல், அதன் மேற்பரப்பு நீர் தொடர்பு சிறியது - இது ஒரு தலைகீழ் உறவைப் பின்பற்றுகிறது. TN-LCD/STN-LCD/VA-LCD உற்பத்தி செயல்முறைகளில், கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகளுக்கு தேவையான புற ஊதா ஆற்றல் குவிப்பு 300MJ/CM2 (253.7NM) ஐ தாண்டுகிறது. TFT-LCD உற்பத்திக்கு, குறைந்த அழுத்த மெர்குரி விளக்குகளைப் பயன்படுத்தி ஓசோன் சுத்தம் செய்வதைத் தவிர, பிரதான தற்போதைய செயல்முறை எக்ஸைமர் விளக்குகளைப் பயன்படுத்துகிறது. 172nm அலைநீளத்தில் அவற்றின் உயர்-வினைத்திறன் UV ஒளி கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகளுக்கு சிறந்த துப்புரவு செயல்திறனை வழங்குகிறது.

புற ஊதா ஒளி சுத்தம் செய்யும் அம்சங்கள்:
1) இது ஒரு தொடர்பு இல்லாத முறையாகும், இது காற்றில் மேற்கொள்ளப்படலாம் மற்றும் சுத்தம் செய்தபின் உலர்த்த தேவையில்லை.
2, பொருட்களின் மேற்பரப்பில் கார்பன் மற்றும் கரிம மாசுபடுத்திகளை முழுவதுமாக அகற்றலாம்.
3. கரைப்பான் இல்லாத ஆவியாகும் மற்றும் கழிவு கரைப்பான்களை அகற்றுதல்.
4. அதிக நம்பகத்தன்மை மற்றும் தயாரிப்புகளின் அதிக மகசூல் ஆகியவற்றை உறுதிப்படுத்தவும்.
5. மேற்பரப்பு சுத்தம் செய்யும் சிகிச்சையின் சீரான தன்மை சீரானது.
குறிப்பு: ஒளிச்சேர்க்கை மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்வினைகள் மூலம் பொருட்களின் மேற்பரப்பில் கார்பன் மற்றும் கரிம சேர்மங்களை அகற்றுவதே ஒளி சுத்தம் செய்வதால், ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு ஆளான மேற்பரப்புகளுக்கு ஒளி சுத்தம் செய்யும் முறை பயன்படுத்தப்படக்கூடாது. இது மேற்பரப்பு அழுக்கை சுத்தம் செய்வதற்கு மட்டுமே பொருத்தமானது, ஆனால் அதிக அழுக்குடன் கனிம அழுக்கை சுத்தம் செய்வதற்கு அல்ல.

ஐ.டி.ஓ கண்ணாடி, ஆப்டிகல் கிளாஸ், குரோமியம் தகடுகள், மாஸ்க் தகடுகள் மற்றும் மெட்டல் மேற்பரப்புகள் உள்ளிட்ட பொருட்களுக்கு யு.வி. துப்புரவு பொருத்தமானது. இந்த செயல்முறை கரிம எச்சங்கள், மனித செபம், ஒப்பனை எண்ணெய்கள், பிசின் சேர்க்கைகள், பாலிமைடுகள், பாரஃபின் மெழுகு, ரோசின், மசகு எண்ணெய் மற்றும் மீதமுள்ள ஒளிச்சேர்க்கை போன்ற பல்வேறு அசுத்தங்களை திறம்பட நீக்குகிறது.
மேலும், எல்சிடி உற்பத்தியில் புற ஊதா ஒளி மூலங்கள் புற ஊதா மேற்பரப்பு மாற்றும் திறன்களை நிரூபிக்கின்றன. தற்போது, ​​அவை முதன்மையாக திரைப்பட செயலாக்க தொழில்நுட்பங்களில் ஐ.டி.ஓ திரைப்படங்கள் மற்றும் ஒளிச்சேர்க்கை பிசின் அடுக்குகள் போன்ற கூறுகளுக்கு இடையில் இடை-திரைப்பட ஒட்டுதலையும், அத்துடன் சிறந்த பூச்சுகள் மற்றும் பாலிமைடு (பிஐ) பூச்சுகளுக்கும் இடையில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. COG தயாரிப்புகளில் சிப் பிணைப்புக்கு முன், ஒட்டுதல் வலிமை மற்றும் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த பிணைப்பு மேற்பரப்புகளிலும் புற ஊதா ஒளி சுத்தம் தேவைப்படுகிறது.
எல்சிடி தயாரிப்புகளின் தரமான தேவைகள் அதிகரித்து வருவதால், எல்.சி.டி தொழில் உற்பத்தி செயல்முறைக்கான தேவைகளை தொடர்ந்து மேம்படுத்தி வருகிறது. “நீங்கள் ஒரு நல்ல வேலையைச் செய்ய விரும்பினால், நீங்கள் முதலில் உங்கள் கருவிகளைக் கூர்மைப்படுத்த வேண்டும்” என்ற கோரிக்கைக்கு இணங்க, எல்.சி.டி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய கருவியான புற ஊதா ஒளி துப்புரவு உபகரணங்கள் எல்சிடி தயாரிப்புகளின் தரத்திற்கு தொடர்ந்து உத்தரவாதம் அளிக்கும்.